◎記者李興彩○編輯姚炯

在12英寸獨立式光學線寬測量設備(OCD)、12英寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備(Review SEM)進入客戶驗證階段后，精測電子（300567）開啟了在半導體前道量測檢測設備領域的新布局，瞄準了明場缺陷檢測設備。

2月12日，精測電子發布關于控股子公司增資暨關聯交易公告，公司控股子公司上海精積微擬引入新的投資者上海裝備投、張江燧鋒、浦東海望、海寧精海、上海精望、公司實控人彭騫，新的投資者與原股東上海精測擬分別向上海精積微出資2500萬元、2500萬元、2500萬元、5000萬元、1億元、5000萬元、2500萬元，合計3億元。本次增資完成后，上海精測持有上海精積微的股權比例由100%變更為21.43%。鑒于上海精望、彭騫分別同上海精測簽署了《股東表決權委托協議》，上海精積微仍為公司合并報表范圍內公司。

上海精積微本次引入的多名新股東頗有來頭。比如，上海裝備投的股東萬業企業（600641）、大基金、執行事務合伙人上海半導體裝備材料產業投資管理有限公司分別占出資比例的19.8%、19.8%、0.99%，實際控制人為朱旭東；張江燧鋒的合伙人包括浦東建設（600284）、張江高科（600895）、上海浦東科技創新投資基金合伙企業(有限合伙)、上海科創中心一期股權投資基金合伙企業(有限合伙)等；浦東海望的合伙人包括上海浦東科技創新投資基金合伙企業(有限合伙)、浙江韋爾股權投資有限公司等，韋爾股份（603501）100%持有浙江韋爾股權投資有限公司。

這些資金為什么看好上海精積微？精測電子披露，上海精積微現階段主要聚焦明場晶圓有圖形缺陷檢測設備領域相關產品的研究開發以及生產制造等。

記者了解到，在圖形晶圓光學明場缺陷檢測領域，KLA-TENCOR(科天)等長期壟斷全球市場，我國半導體設備廠商在該領域幾乎處于空白階段。

精測電子表示，此次增資公司放棄部分優先認購權引入不同的戰略合作方，有利于上海精積微獲得充裕資金，以開展半導體檢測領域相關設備的研發及產品化，有利于上海精積微下一階段的良性發展。

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