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新華財經上海5月8日電（記者 楊有宗）8日，上海凱世通半導體股份有限公司新研發制造基地在上海市浦東新區金橋通電啟用，基地投用將擴容凱世通離子注入機現有設備的產能容量，提升從技術驗證到客戶導入的效率。

8日，上海凱世通半導體股份有限公司新研發制造基地啟用。受訪者供圖

據介紹，凱世通新基地無塵車間與辦公總面積超過4400平米，涵蓋技術研發、CIP改進、零部件組裝與驗證、生產制造、工藝驗證等功能，并可提供低能大束流、超低溫低能大束流、重金屬低能大束流、高能離子注入機等全系列產品的評估。

上海凱世通半導體股份有限公司董事長李勇軍說：“新基地啟用后，凱世通全面快速深度響應客戶需求能力將大幅提升，我們將全力以赴，與客戶同頻共振、并肩戰斗，推動客戶降本增效、創新發展、產能提升。”

凱世通是一家集成電路離子注入機裝備企業，正在成長為國產第一梯隊核心設備廠商。2022年至今，凱世通取得多家12英寸集成電路制造廠主流客戶的離子注入機采購訂單，累計設備訂單超8.5億元。

根據萬業企業發布的公告，目前凱世通研發的28納米工藝節點的低能大束流、低能大束流重金屬離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機、高能離子注入機均順利實現商業化，在國產低能大束流和高能離子注入機系列產品的產業化進程中領跑。

編輯：談瑞

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