上海精積微收獲明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備訂單 將于今年10月出機(jī)
上證報(bào)中國(guó)證券網(wǎng)訊上海精積微半導(dǎo)體于本周斬獲兩臺(tái)明場(chǎng)檢測(cè)BFI100型設(shè)備訂單，該型號(hào)設(shè)備主要用于65nm80nm的半導(dǎo)體產(chǎn)線制程監(jiān)控。首臺(tái)設(shè)備預(yù)計(jì)今年10月出機(jī)，將改善明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備短缺問題。
明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備一般用于有圖形晶圓的缺陷檢測(cè)，技術(shù)難度接近光刻機(jī)。作為半導(dǎo)體前道檢測(cè)必備的主設(shè)備，明場(chǎng)檢測(cè)的核心技術(shù)一直被國(guó)外幾家公司壟斷，此次BFI100作為國(guó)內(nèi)首個(gè)量產(chǎn)型號(hào)的明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備，將助力我國(guó)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
公開資料顯示，上海精積微半導(dǎo)體是精測(cè)電子（300567）合并報(bào)表范圍內(nèi)公司。精測(cè)電子主要從事顯示、半導(dǎo)體、新能源檢測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。3月9日，精測(cè)電子控股子公司常州精測(cè)與中創(chuàng)新航簽署《戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議》，雙方將攜手就鋰電設(shè)備領(lǐng)域及相應(yīng)服務(wù)開展深度合作。(程微)
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