上證報中國證券網訊上海精積微半導體于本周斬獲兩臺明場檢測BFI100型設備訂單，該型號設備主要用于65nm80nm的半導體產線制程監控。首臺設備預計今年10月出機，將改善明場檢測設備短缺問題。

明場檢測設備一般用于有圖形晶圓的缺陷檢測，技術難度接近光刻機。作為半導體前道檢測必備的主設備，明場檢測的核心技術一直被國外幾家公司壟斷，此次BFI100作為國內首個量產型號的明場檢測設備，將助力我國半導體裝備產業發展。

公開資料顯示，上海精積微半導體是精測電子（300567）合并報表范圍內公司。精測電子主要從事顯示、半導體、新能源檢測系統的研發、生產與銷售。3月9日，精測電子控股子公司常州精測與中創新航簽署《戰略合作伙伴協議》，雙方將攜手就鋰電設備領域及相應服務開展深度合作。(程微)

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