從國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利查詢系統(tǒng)獲悉，阿石創(chuàng)（300706）（300706）一種銀基合金極其制備方法、銀合金復(fù)合薄膜極其應(yīng)用已申報(bào)專利。據(jù)了解，該技術(shù)在AMOLED（主動(dòng)矩陣有機(jī)發(fā)光二極體）顯示產(chǎn)線中起關(guān)鍵作用。目前，國(guó)內(nèi)使用的銀合金靶材全部依賴日本和韓國(guó)進(jìn)口。阿石創(chuàng)針對(duì)銀及銀合金靶材的研發(fā)突破，有望實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。

資料顯示，AMOLED是新一代顯示技術(shù)，在智能手機(jī)、平板電視、柔性顯示、車載顯示、AI等各種智能終端應(yīng)用越來(lái)越廣泛。作為AMOLED制程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，透明導(dǎo)電薄膜晶體管（TFT）是采用濺射鍍膜技術(shù)在基板上沉積“ITO/Ag合金/ITO”復(fù)合薄膜構(gòu)建。磁控濺射鍍膜（簡(jiǎn)稱“濺射鍍膜”）是在真空中，利用大量高能離子轟擊靶材表面，使靶材元素以原子或原子團(tuán)形態(tài)被激發(fā)出來(lái)，并沉積在靶材對(duì)面的基板上，形成厚度均勻的連續(xù)薄膜的過(guò)程。靶材的純度、致密度、組織結(jié)構(gòu)等性能顯著影響薄膜的性能，而薄膜性能直接決定著顯示面板的良率和使用壽命。由于銀合金特殊的成膜性能要求，對(duì)銀合金靶材提出極高的性能要求，是AMOLED顯示面板制備過(guò)程中的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。

日本在專利2004―084065介紹了一種銀合金濺射靶材及用該銀合金濺射靶材形成的銀合金膜,能夠穩(wěn)定地在大面積的FPD底板上均勻地形成兼?zhèn)潆娮悠骷蟮牡碗娮韬透叻瓷渎?耐熱性，耐蝕性以及與底板的緊密粘結(jié)性的銀合金膜。以日本為主的靶材供應(yīng)商正是依靠其在靶材成分上的專利優(yōu)勢(shì)，制造行業(yè)壁壘，形成產(chǎn)業(yè)壟斷。其中，日本三菱布局的銀-銦（Ag-In）合金系，長(zhǎng)期占領(lǐng)全球銀合金靶材市場(chǎng)。韓國(guó)、臺(tái)灣部分企業(yè)也生產(chǎn)供應(yīng)小量銀合金靶材，但也繞不開(kāi)日本企業(yè)的專利布局。銀-銦（Ag-In）、銀-鈀（Ag-Pd）系列合金目前仍處在專利保護(hù)期內(nèi)，國(guó)內(nèi)企業(yè)不得模仿生產(chǎn)。

當(dāng)前，我國(guó)在顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域高端靶材尚未實(shí)現(xiàn)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)布局和自主研發(fā)生產(chǎn)。因此，銀合金靶材供應(yīng)隨時(shí)面臨被“卡脖子”的風(fēng)險(xiǎn)。

據(jù)測(cè)算，未來(lái)三年中國(guó)大陸AMOLED顯示面板的產(chǎn)能將進(jìn)入集中釋放期，預(yù)計(jì)2022年將占據(jù)全球產(chǎn)能的份額達(dá)47%。僅目前投產(chǎn)和在建的AMOLED產(chǎn)線對(duì)銀合金靶材的年市場(chǎng)需求就超過(guò)15億元。阿石創(chuàng)在銀合金靶材方面的技術(shù)突破，具備巨大的國(guó)產(chǎn)化替代空間。（中三文）

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